半導体材料

当社では、各種半導体用途に対応可能な、低メタル・低パーティクル特性を備えた高品質な材料をの開発を進めています。ICP-MS・液中パーティクルカウンターを保有しており、金属濃度はppbレベル、パーティクル数はnmレベルの異物管理が可能です。

低メタル・低パーティクル

半導体製造において不純物は、パターン欠陥や電気特性劣化を引き起こすため、厳しく管理される対象です。当社ではICP-MSや液中パーティクルカウンターを用い、モノマーや溶剤中の金属・パーティクルをppb・nmレベルで管理しています。

ICP-MS
ICP-MS
液中パーティクルカウンター
液中パーティクルカウンター

試作サンプル実績

金属規格* パーティクル規格
材料A モノマー組成物(<30cP) <10ppb <200cts/mL
@130nmUP
材料B ポリマー組成物(<30cP) <5ppb <20cts/mL
@130nmUP

*Al,Ca,Cr,Cu,Fe,K,Li,Mg,Mn,Na,Ni,Pb,Sn,Zn

関連情報