半導体材料
当社では、各種半導体用途に対応可能な、低メタル・低パーティクル特性を備えた高品質な材料をの開発を進めています。ICP-MS・液中パーティクルカウンターを保有しており、金属濃度はppbレベル、パーティクル数はnmレベルの異物管理が可能です。
低メタル・低パーティクル
半導体製造において不純物は、パターン欠陥や電気特性劣化を引き起こすため、厳しく管理される対象です。当社ではICP-MSや液中パーティクルカウンターを用い、モノマーや溶剤中の金属・パーティクルをppb・nmレベルで管理しています。


試作サンプル実績
金属規格* | パーティクル規格 | ||
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材料A | モノマー組成物(<30cP) | <10ppb | <200cts/mL @130nmUP |
材料B | ポリマー組成物(<30cP) | <5ppb | <20cts/mL @130nmUP |
*Al,Ca,Cr,Cu,Fe,K,Li,Mg,Mn,Na,Ni,Pb,Sn,Zn